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? 采用皮秒或飛秒激光器，超短脈沖加工幾乎無熱傳導(dǎo)，最小3um的崩邊和熱影響區(qū)。

? 高精度CCD自動(dòng)定位系統(tǒng)，能夠識(shí)別定位任意形狀mark點(diǎn)。

? 設(shè)備最大加工范圍600*500mm，XY平臺(tái)精度≤2um。

? 更高的單脈沖能量，更高的加工精度，可對(duì)幾乎任何固體材料實(shí)現(xiàn)精細(xì)加工。

? 極好的加工柔韌性，可進(jìn)行任意形狀細(xì)微切割。

? 強(qiáng)大的軟件控制系統(tǒng)，可按客戶要求進(jìn)行功能定制與升級(jí)。